MECCANISMO・LAB 開發出 120℃ 大氣壓下之 6 吋全自動晶圓鍵合裝置
MECCANISMO・LAB 公司以物質材料研究機構(NIMS)開發的低溫大氣壓接合技術為基礎,成功開發出對應 6 吋晶圓的全自動接合裝置,並證實可在 120℃ 及大氣壓環境下成功接合。相較於傳統需高… · 2026-05-12
MECCANISMO・LAB 公司以物質材料研究機構(NIMS)開發的低溫大氣壓接合技術為基礎,成功開發出對應 6 吋晶圓的全自動接合裝置,並證實可在 120℃ 及大氣壓環境下成功接合。相較於傳統需高… · 2026-05-12
MECCANISMO・LAB 基於 NIMS 的低溫大氣壓接合技術,開發了可在 120℃ 大氣壓下運作的 6 吋全自動晶圓接合設備。這項發展解決了傳統挑戰,並啟動了實用驗證,使得熱敏感和異質材料的接合… · 2026-05-12