東京威力科創元件與 ITES 合作，共同開發能在晶圓層級將 SiC 元件潛在缺陷視覺化的檢測解決方案
東京威力科創元件 (TED) 與電子零件分析公司 ITES 宣布合作，共同開發針對 SiC（碳化矽）元件的潛在缺陷檢測解決方案。兩家公司將透過開發銷售新型「SiC 潛在缺陷檢測裝置 ITS-SCX100」，利用 UV 雷射照射技術將晶圓內的潛在結晶缺陷視覺化，旨在縮短開發週期並提升功率元件的可靠性。此合作將結合 TED 的設備開發能力與 ITES 的分析技術，為客戶提供從缺陷可視化到評估分析的一站式支援。
📋 文章處理履歷
- 📰 發表: 2026年4月14日 20:00
- 🔍 收集: 2026年4月14日 11:31
- 🤖 AI分析完成: 2026年4月14日 15:51（收集後4小時19分鐘）
東京威力科創元件股份有限公司（總公司：東京都澀谷區，代表取締役社長：宮本 隆義，以下簡稱「TED」）與從事電子零件分析解析及可靠性評估服務等的 ITES 股份有限公司（總公司：滋賀縣大津市，代表取締役社長：五十嵐 靖行，以下簡稱「ITES」），特此宣布雙方將在 SiC（碳化矽）元件的潛在缺陷檢測解決方案領域進行合作。
兩家公司將透過開發與銷售新產品「SiC 潛在缺陷檢測裝置／通電劣化模擬器 ITS-SCX100」，該產品可藉由 UV 雷射照射擴展並視覺化 SiC 晶圓內的潛在結晶缺陷，藉此強化該解決方案的供應體制，並支援以電力電子領域為主的客戶開發高可靠性的元件。
■背景
為實現節能與碳中和，SiC 元件在汽車、工業設備、再生能源等多樣化領域的應用正持續推進。另一方面，由 SiC 特有的結晶缺陷（BPD：基底平面差排）所引起的通電劣化，已成為影響長期可靠性的重要技術課題。
這些潛在缺陷，使用傳統的檢測方法難以發現，且在評估材料或製程條件變更的效果時，樣本測試通常需要耗時數月。其結果導致開發週期延長及評估成本增加，成為 SiC 元件全面導入的障礙之一。
■合作內容
TED 與 ITES 為提升 SiC 元件的可靠性與評估流程效率，將推動以下措施：
・開發與銷售「SiC 潛在缺陷檢測裝置／通電劣化模擬器 ITS-SCX100」，該裝置可透過 UV 雷射照射重現通電劣化，並擴展、視覺化 SiC 晶圓內的潛在 BPD（預計於 2026 年 9 月開始接受訂單）
・針對材料製造商、元件製造商提供評估服務及解決方案提案
・結合潛在缺陷數據與電氣特性、可靠性測試結果，提供評估與分析支援
・透過技術研討會、白皮書、案例內容等方式進行資訊發布與市場啟發
TED 將基於其在半導體晶圓檢測裝置開發與銷售方面積累的知識，負責裝置與系統端的企劃與供應；而 ITES 則活用其多年來在電子零件分析解析與可靠性評估服務中培養的量測與分析技術，負責評估菜單設計及量測、數據分析。
■「SiC 潛在缺陷檢測裝置／通電劣化模擬器 ITS-SCX100」的特點
1. 潛在 BPD 的晶圓層級視覺化
・透過 UV 雷射照射，可在短時間內擴展並顯現 SiC 晶圓內的潛在 BPD
・能夠掌握過去難以檢測的缺陷在整個晶圓表面的分佈情況
2. 縮短材料與製程評估的前置時間
・在晶圓層級比較與評估因材料批次或製程條件差異所導致的缺陷分佈變化
・透過取代部分過去需耗時數月的樣本測試，支援縮短開發週期與降低試產成本
3. 應用於可靠性設計與品質保證
・結合潛在缺陷圖與電氣特性、可靠性測試結果，使元件不良發生原因的分析更加深入
・可應用於材料選擇、製程條件的最佳化，以及產品保證條件的研討
4. 亦考慮作為評估服務提供
・除了導入設備外，也考慮由 ITES 提供委託評估服務，以對應導入前的試用評估需求
「ITS-SCX100」的詳細資訊請點此
URL：https://www.inrevium.com/product/sic-latent-crystal-defect/
■未來發展
兩家公司將透過本次合作，優先建立 SiC 元件領域的潛在缺陷評估解決方案供應體制，為客戶的量產品質提升做出貢獻。未來，將根據市場需求，考慮擴展至其他功率元件材料及相關檢測解決方案。
TED 將在數位工廠領域，針對「預知保全」、「檢測自動化」、「品質不良原因調查」等主題，結合包含本次合作在內的各種解決方案，為客戶生產現場的升級與穩定運作做出貢獻。
關於本次合作，兩家公司的評論如下。
東京威力科創元件股份有限公司
公司高級職員 執行役員 PB BU/BUGM 神本 光敬
東京威力科創元件透過在半導體晶圓檢測裝置領域積累的解決方案提案能力，致力於解決客戶在開發與生產現場的課題。此次，透過與在電子零件分析解析及可靠性評估方面擁有豐富知識的 ITES 公司合作，我們將強化能從 SiC 元件的潛在缺陷視覺化到評估、分析提供一貫支援的體制。結合兩家公司的優勢，我們期望能為客戶的材料評估與開發流程帶來效率提升，同時為高可靠性元件的開發做出貢獻。
ITES 股份有限公司
代表取締役社長 五十嵐 靖行
ITES 長年來活用所積累的半導體評估與可靠性測試技術及實績，為客戶在產品開發中的品質確保與前置時間縮短做出貢獻。透過本次合作，結合東京威力科創元件公司的解決方案提案能力與本公司的評估服務，我們將強化能從設計、開發到可靠性驗證提供一貫支援的體制，期望能為客戶的競爭力提升做出更進一步的貢獻。
【關於東京威力科創元件股份有限公司】
東京威力科創元件旨在成為一家結合製造商與技術貿易商力量，解決潛在社會課題的公司，推動以半導體和 IT 為核心的最先進技術在社會中的實踐。透過作為技術貿易商所積累的先進產品與服務發掘能力，以及強化製造商功能所開發的創新解決方案，為實現超智能社會和永續發展做出貢獻。
URL：https://www.teldevice.co.jp/
【關於 ITES 股份有限公司】
ITES 股份有限公司是一家從事電子零件分析解析、可靠性評估服務、太陽能電池檢測設備的開發、製造、銷售，以及電子設備維修等業務的技術型企業。活用其在電子零件與元件方面的高階評估技術和設備，支援國內外製造商提升品質與可靠性。
・公司名稱：ITES 股份有限公司
・所在地：滋賀縣大津市栗林町 1 番 60 號
・代表人：代表取締役社長 五十嵐 靖行
・事業內容：電子零件分析解析、可靠性評估服務，太陽能電池檢測設備的開發製造銷售，電子設備維修等
・URL：https://www.ites.co.jp/
<關於本案媒體相關諮詢窗口>
東京威力科創元件股份有限公司 行銷傳播部 公關組
諮詢表單： https://www.teldevice.co.jp/cgi-bin/form/contact.php
ITES 股份有限公司 產品開發部
諮詢表單： https://www.inquiry.ites.co.jp/panel
<關於產品與服務的諮詢窗口>
東京威力科創元件股份有限公司 數位工廠營業部
諮詢表單：https://www.inrevium.com/inquiry/
※ 本新聞稿中記載的公司名稱、產品名稱為各公司的註冊商標或商標。
兩家公司將透過開發與銷售新產品「SiC 潛在缺陷檢測裝置／通電劣化模擬器 ITS-SCX100」，該產品可藉由 UV 雷射照射擴展並視覺化 SiC 晶圓內的潛在結晶缺陷，藉此強化該解決方案的供應體制，並支援以電力電子領域為主的客戶開發高可靠性的元件。
■背景
為實現節能與碳中和，SiC 元件在汽車、工業設備、再生能源等多樣化領域的應用正持續推進。另一方面，由 SiC 特有的結晶缺陷（BPD：基底平面差排）所引起的通電劣化，已成為影響長期可靠性的重要技術課題。
這些潛在缺陷，使用傳統的檢測方法難以發現，且在評估材料或製程條件變更的效果時，樣本測試通常需要耗時數月。其結果導致開發週期延長及評估成本增加，成為 SiC 元件全面導入的障礙之一。
■合作內容
TED 與 ITES 為提升 SiC 元件的可靠性與評估流程效率，將推動以下措施：
・開發與銷售「SiC 潛在缺陷檢測裝置／通電劣化模擬器 ITS-SCX100」，該裝置可透過 UV 雷射照射重現通電劣化，並擴展、視覺化 SiC 晶圓內的潛在 BPD（預計於 2026 年 9 月開始接受訂單）
・針對材料製造商、元件製造商提供評估服務及解決方案提案
・結合潛在缺陷數據與電氣特性、可靠性測試結果，提供評估與分析支援
・透過技術研討會、白皮書、案例內容等方式進行資訊發布與市場啟發
TED 將基於其在半導體晶圓檢測裝置開發與銷售方面積累的知識，負責裝置與系統端的企劃與供應；而 ITES 則活用其多年來在電子零件分析解析與可靠性評估服務中培養的量測與分析技術，負責評估菜單設計及量測、數據分析。
■「SiC 潛在缺陷檢測裝置／通電劣化模擬器 ITS-SCX100」的特點
1. 潛在 BPD 的晶圓層級視覺化
・透過 UV 雷射照射，可在短時間內擴展並顯現 SiC 晶圓內的潛在 BPD
・能夠掌握過去難以檢測的缺陷在整個晶圓表面的分佈情況
2. 縮短材料與製程評估的前置時間
・在晶圓層級比較與評估因材料批次或製程條件差異所導致的缺陷分佈變化
・透過取代部分過去需耗時數月的樣本測試，支援縮短開發週期與降低試產成本
3. 應用於可靠性設計與品質保證
・結合潛在缺陷圖與電氣特性、可靠性測試結果，使元件不良發生原因的分析更加深入
・可應用於材料選擇、製程條件的最佳化，以及產品保證條件的研討
4. 亦考慮作為評估服務提供
・除了導入設備外，也考慮由 ITES 提供委託評估服務，以對應導入前的試用評估需求
「ITS-SCX100」的詳細資訊請點此
URL：https://www.inrevium.com/product/sic-latent-crystal-defect/
■未來發展
兩家公司將透過本次合作，優先建立 SiC 元件領域的潛在缺陷評估解決方案供應體制，為客戶的量產品質提升做出貢獻。未來，將根據市場需求，考慮擴展至其他功率元件材料及相關檢測解決方案。
TED 將在數位工廠領域，針對「預知保全」、「檢測自動化」、「品質不良原因調查」等主題，結合包含本次合作在內的各種解決方案，為客戶生產現場的升級與穩定運作做出貢獻。
關於本次合作，兩家公司的評論如下。
東京威力科創元件股份有限公司
公司高級職員 執行役員 PB BU/BUGM 神本 光敬
東京威力科創元件透過在半導體晶圓檢測裝置領域積累的解決方案提案能力，致力於解決客戶在開發與生產現場的課題。此次，透過與在電子零件分析解析及可靠性評估方面擁有豐富知識的 ITES 公司合作，我們將強化能從 SiC 元件的潛在缺陷視覺化到評估、分析提供一貫支援的體制。結合兩家公司的優勢，我們期望能為客戶的材料評估與開發流程帶來效率提升，同時為高可靠性元件的開發做出貢獻。
ITES 股份有限公司
代表取締役社長 五十嵐 靖行
ITES 長年來活用所積累的半導體評估與可靠性測試技術及實績，為客戶在產品開發中的品質確保與前置時間縮短做出貢獻。透過本次合作，結合東京威力科創元件公司的解決方案提案能力與本公司的評估服務，我們將強化能從設計、開發到可靠性驗證提供一貫支援的體制，期望能為客戶的競爭力提升做出更進一步的貢獻。
【關於東京威力科創元件股份有限公司】
東京威力科創元件旨在成為一家結合製造商與技術貿易商力量，解決潛在社會課題的公司，推動以半導體和 IT 為核心的最先進技術在社會中的實踐。透過作為技術貿易商所積累的先進產品與服務發掘能力，以及強化製造商功能所開發的創新解決方案，為實現超智能社會和永續發展做出貢獻。
URL：https://www.teldevice.co.jp/
【關於 ITES 股份有限公司】
ITES 股份有限公司是一家從事電子零件分析解析、可靠性評估服務、太陽能電池檢測設備的開發、製造、銷售，以及電子設備維修等業務的技術型企業。活用其在電子零件與元件方面的高階評估技術和設備，支援國內外製造商提升品質與可靠性。
・公司名稱：ITES 股份有限公司
・所在地：滋賀縣大津市栗林町 1 番 60 號
・代表人：代表取締役社長 五十嵐 靖行
・事業內容：電子零件分析解析、可靠性評估服務，太陽能電池檢測設備的開發製造銷售，電子設備維修等
・URL：https://www.ites.co.jp/
<關於本案媒體相關諮詢窗口>
東京威力科創元件股份有限公司 行銷傳播部 公關組
諮詢表單： https://www.teldevice.co.jp/cgi-bin/form/contact.php
ITES 股份有限公司 產品開發部
諮詢表單： https://www.inquiry.ites.co.jp/panel
<關於產品與服務的諮詢窗口>
東京威力科創元件股份有限公司 數位工廠營業部
諮詢表單：https://www.inrevium.com/inquiry/
※ 本新聞稿中記載的公司名稱、產品名稱為各公司的註冊商標或商標。