推出液溫變化流量誤差低減型液體流量計，支援80種藥液

Multi-Flow R™ (MFR) 顯示型/無顯示型

半導體與藥液製程中的流量管理課題

在半導體製造設備及藥液/化學品供應設備中，根據使用流體選擇接觸部材質，以及液體溫度變化造成的流量誤差是重要的課題。

Multi-Flow R 透過New PFA接觸部結構與溫度補償功能，實現了對多樣化藥液的對應與穩定的流量測量。

導入Multi-Flow R™ 的效果

補償因溫度變化引起的流量波動，有助於濕製程中的穩定流量管理與品質維持。

溫度補償功能

一般卡門渦式流量計（無溫度補償功能）

當流體溫度變化時，會因黏度變化等影響導致渦流頻率波動。結果會影響檢測訊號，可能造成流量測量精度的誤差。

這會產生監控或手動調整閥門的工作量。

Multi-Flow R™

在流路內搭載溫度感測器，即使水溫改變也能自動補償流量，無需監控與調整。

產品特點

搭載溫度感測器測量流體溫度，透過溫度補償減輕液溫變化造成的精度誤差
接觸部僅使用New PFA，可對應約80種藥液
緊湊型設計，無可動部件與O型環結構
對應寬廣的流量範圍（從0.3～2.5L/min到10～100L/min）
規格

流量範圍：0.3～100 L/min
流量精度：±2% F.S. (MFR301/302/303/304) ±3% F.S. (MFR305)
溫度精度：±2℃ ±0.15×ΔT℃ (ΔT: 周圍溫度 – 流體溫度)
接觸材質：New PFA
連接口徑：3/8" ～1" 管端
流體溫度：0～90℃
輸出：訊號輸出 (4～20mA / Pulse)，警報輸出 (警報接點：2點 NPN集電極開路輸出 ※僅限顯示型)
對應藥液一覽：下表

對應藥液一覽

未來發展

本產品預計將推廣至包括半導體製造設備製造商在內，使用藥液、純水等流體的產業設備製造商。未來將根據用途擴充產品陣容，為產業設備領域的配管高效率化與設備省空間化做出貢獻。

本產品預計於2026年6月15日（星期一）發售，預計於2026年夏季之後開始出貨。

發布者資訊

Regal Joint 公司

自1974年創業以來，Regal Joint 公司活用其獨特的真空技術與配管技術，在流體、氣體、配管相關領域，從事多項原創產品的設計開發、製造及銷售的綜合性業務。

事業大致分為流體控制設備事業、環境事業、委託製造事業、熱交換器事業等四個部分，廣泛應用於從化學、機械、電機、電子等所有尖端領域，到食品、畜牧、醫療等各種領域。

Regal Joint 公司 HP：https://rgl.co.jp/