液温変化による流量誤差を低減。80種類の薬液に対応した液体用流量計を発売 株式会社リガルジョイントは、液温変化による流量誤差を低減する液体用流量計「マルチフローR™」を発売します。本製品は、New PFA接液構造と温度補正機能により、約80種類の薬液に対応し、半導体製造装置… · 2026-06-09