液温変化による流量誤差を低減。80種類の薬液に対応した液体用流量計を発売

マルチフローR™(MFR)　表示あり/なし

半導体・薬液プロセスにおける流量管理の課題

半導体製造装置や薬液・ケミカル供給設備では、使用流体に応じた接液部材質の選定や、液温変化による流量誤差が課題となっている。

マルチフローRは、New PFA接液構造と温度補正機能により、多様な薬液への対応と安定した流量計測を実現した。

マルチフローR™の導入効果

温度変化による流量変動を補正し、ウェットプロセスにおける安定した流量管理と品質維持に貢献する。

温度補正機能

一般的なカルマン渦式流量計(温度補正機能なし)

流体の液温が変化すると、粘度変化などの影響により渦周波数が変動する。その結果、検出信号に影響を与え、流量計測精度に誤差が生じる場合がある。

監視を行ったり、バルブを手動で調整する工数が発生してしまう。

マルチフローR™

流路内に温度センサーを搭載し、水温が変わっても流量を自動補正するため、監視・調整工数が不要。

製品の特徴

温度センサ搭載により流体温度を計測、温度補正により液温変化による精度誤差軽減
接液部はNew PFAのみ　約80種類の薬液に対応
コンパクト設計、可動部・オーリングレス構造
幅広い流量レンジに対応（0.3～2.5L/minから10～100L/minまで）
仕様

流量範囲　　：0.3～100L/min
流量精度　　：±2% F.S.(MFR301/302/303/304)　±3%F.S.(MFR305)
温度精度　　：±2℃ ±0.15×ΔT℃ （ΔT:周囲温度 – 流体温度）
接液材質　　：NewPFA
接続口径　　：3/8" ～1"チューブエンド
流体温度　　：0～90℃
出力　　　　：信号出力(4～20mA／パルス)、警報出力(警報接点：2点　NPNオープンコレクタ出力 ※表示ありのみ)
対応薬液一覧：下表

対応薬液一覧

今後の展開

本製品は半導体製造装置メーカーをはじめ、薬液、純水等の流体を使用する産業装置メーカーなどへの展開を予定している。今後は用途に応じた製品ラインアップの拡充を図り、産業装置分野における配管の高効率化と装置の省スペース化に貢献していく。
なお、本製品の発売は2026年6月15日（月）を予定しているが、出荷開始は2026年夏以降となる見込みである。

配信者情報

株式会社リガルジョイント

1974年の創業以来、流体、ガス、配管に関わる独自の真空技術、配管技術を活かし、数々のオリジナル製品の設計開発から製造販売まで総合的な事業展開をしております。

事業は大きく分けて流体制御機器事業、環境事業、受託製造事業、熱交換器事業、の4つに分かれ、化学から機械、電気、電子といったあらゆる最先端分野から、食品、畜産、医療に至る様々な分野で活かされています。

株式会社リガルジョイントHP：https://rgl.co.jp/