MECCANISMO・LAB、120℃・大気圧でのウエハ接合を実現 NIMS保有技術をベースに6インチ対応全自動接合装置を開発
MECCANISMO・LAB株式会社は、茨城県つくば市にて、NIMSが開発した技術を基に6インチウエハ対応の全自動接合装置を開発しました。従来は高温・高真空が必要だったウエハ接合を、低温・大気圧環境で… · 2026-05-12
MECCANISMO・LAB株式会社は、茨城県つくば市にて、NIMSが開発した技術を基に6インチウエハ対応の全自動接合装置を開発しました。従来は高温・高真空が必要だったウエハ接合を、低温・大気圧環境で… · 2026-05-12
MECCANISMO・LABがNIMSの低温・大気圧接合技術を基盤に、120℃・大気圧で動作する6インチウエハ対応全自動接合装置を開発し、実用化に向けた検証を開始しました。これにより、従来の課題であっ… · 2026-05-12