發售光纖式非接觸型藥液濃度監測器「CS-900F」

HORIBA集團負責水・液體計測事業的堀場先進科技股份有限公司（總部：京都市南區吉祥院宮之東町2，代表取締役社長：西方健太郎），於2026年3月26日發售光纖式非接觸型藥液濃度監測器「CS-900F」。

用於測量清洗、蝕刻等半導體製造製程中所使用藥液濃度的「CS」系列，自1995年上市以來，持續因應客戶需求不斷進化。

新產品「CS-900F」採用只需安裝於配管即可對藥液進行非接觸測量的方式，降低藥液洩漏及污染※1的風險。透過導入光纖電纜，將分光器移至主機側，裝置內安裝的電池單元體積較傳統縮減約60％※2。在實現大幅小型化的同時，搭載具備高穩定性優勢的內部參考※3機構，在維持降低外部干擾影響的高測量精度的同時，亦可縮減裝置內的佔地面積※4。

此外，還擴充了可對應的藥液種類，作為「CS」系列的旗艦款，革新為兼具穩定性與通用性的機型。

【開發背景】

半導體製造工序中的藥液處理，影響表面處理的均質性等良率關鍵環節，因此需要對藥液進行嚴格管理。為此，於2019年發售了無需接觸配管內藥液即可獲得測量結果的非接觸型藥液濃度監測器「CS-900」。

作為其後繼機型，本產品以半導體業界普遍要求的縮減佔地面積為目標，採用光纖式設計，從而將安裝於客戶裝置內的電池單元體積較傳統縮減約60％。本產品活用「CS」系列上市30年所積累的技術，在貼合市場需求的同時，力求進一步擴大普及。

【產品特色】

1．兼顧小型化與穩定測量

本產品採用非接觸測量方式，只需將電池單元安裝於客戶裝置內的配管上，即可輕鬆使用。

透過導入以光纖電纜連接主機與電池單元的方式，原本內建於電池單元的分光器得以移至安裝在客戶裝置外部的主機，從而將電池單元體積較傳統縮減約60％。除將分光器移至主機外，電池單元內亦搭載了CS系列引以為傲的高穩定性參考※3，有助於降低振動等外部干擾影響，實現穩定測量。