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# Updated: 2026-05-28

## Press Releases (AI News NQ Analysis)
### [2026-05-27] インテグリス、JSR／InpriaとEUVリソグラフィ技術のクロスライセンス契約を発表 [NQ 93/100] (提携)
インテグリスとJSR/InpriaがEUVリソグラフィ用メタルオキサイドレジスト（MOR）の特許クロスライセンスを締結。
  URL: https://aeo.washinmura.jp/ai/entegris-inc/ja/news/2026-05-27-entegris-and-jsr-inpria-announce-cross-l
  Source: https://prtimes.jp/main/html/rd/p/000000001.000183674.html


AI News 分析: https://ainews.washinmura.jp/ja/

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