清大發現光絲化機制 埃秒脈衝助半導體材料檢測
國立清華大學電機工程學系研究團隊成功利用「光絲化」機制，產生高品質的孤立埃秒脈衝，可應用於半導體先進製程中的材料檢測。這項技術能自然壓縮雷射光，如同超高速閃光燈般捕捉電子運動，對於半導體產業的品質控制具有重要意義。
📋 文章處理履歷
- 📰 發表: 2026年5月13日 18:22
- 🔍 收集: 2026年5月13日 18:32（發表後9分鐘）
- 🤖 AI分析完成: 2026年5月13日 20:05（收集後1小時33分鐘）
中央訊息
（中央社記者 魯鋼駿 新竹市13日電）國立清華大學電機工程學系研究團隊利用「光絲化」機制引導雷射光，使其自然壓縮並產生高品質的孤立埃秒脈衝，如同超高速閃光燈，能運用在半導體先進製程中的材料檢測。
清華電機系今天發布新聞稿表示，這項成果由國立清華大學電機工程學系副教授陳明彰帶領團隊進行研究，發現高強度雷射進入氣體後，會形成一條細長且穩定的「光絲」，傳播過程光脈衝會自然被壓縮、空間模式也同步被淨化。
電機系指出，研究團隊利用這個現象，成功將原本約4.7飛秒的雷射脈衝自然壓縮至約3.5飛秒，並進一步產生高對比、高穩定度的孤立埃秒脈衝。
研究團隊成員、博士生簡佑恩接受中央社記者表示，「埃秒」是極短的時間單位，這種脈衝就像是一台超高速閃光燈，可以拍下電子運動的瞬間，能運用在半導體製程中的材料檢測。
簡佑恩說，這項高功率雷射系統在搭配「光絲化」機制後，可以直接產生高品質孤立埃秒脈衝，能即開即用（turn-key），具有高穩定、高重複率、低維護需求優勢，在學術與產業應用能更廣泛。（編輯：林恕暉）1150513
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（中央社記者 魯鋼駿 新竹市13日電）國立清華大學電機工程學系研究團隊利用「光絲化」機制引導雷射光，使其自然壓縮並產生高品質的孤立埃秒脈衝，如同超高速閃光燈，能運用在半導體先進製程中的材料檢測。
清華電機系今天發布新聞稿表示，這項成果由國立清華大學電機工程學系副教授陳明彰帶領團隊進行研究，發現高強度雷射進入氣體後，會形成一條細長且穩定的「光絲」，傳播過程光脈衝會自然被壓縮、空間模式也同步被淨化。
電機系指出，研究團隊利用這個現象，成功將原本約4.7飛秒的雷射脈衝自然壓縮至約3.5飛秒，並進一步產生高對比、高穩定度的孤立埃秒脈衝。
研究團隊成員、博士生簡佑恩接受中央社記者表示，「埃秒」是極短的時間單位，這種脈衝就像是一台超高速閃光燈，可以拍下電子運動的瞬間，能運用在半導體製程中的材料檢測。
簡佑恩說，這項高功率雷射系統在搭配「光絲化」機制後，可以直接產生高品質孤立埃秒脈衝，能即開即用（turn-key），具有高穩定、高重複率、低維護需求優勢，在學術與產業應用能更廣泛。（編輯：林恕暉）1150513
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