国内大手半導体メーカーがソラリスのミミズ型管内走行ロボット「Sooha®」を導入

人工筋肉およびその技術を応用したソフトロボットの開発・提供を手掛ける株式会社ソラリス（代表取締役社長：市橋 徹）は、国内大手の半導体メーカーに対し、ミミズ型管内走行ロボット「Sooha」を導入したことをお知らせいたします。

導入先の製造拠点では、2026年2月より本ロボットを活用した半導体装置配管の予防保全型メンテナンスを開始しており、生産現場のさらなる安定稼働を目指しています。

■ 導入の背景と目的
半導体製造プロセスでは、装置配管内に生成物が堆積しやすく、これが原因で装置の故障や生産ラインの停止を招くリスクが常に存在します。特に工場内の配管は複雑に曲げられた箇所や高所が多く、従来の点検手法では対応が困難でした。

同メーカーは、これらの課題を解決するためにソラリス独自のソフトロボティクス技術を用いた「Sooha」を導入しました。本ロボットによる定期的なモニタリングと清掃を通じて、突発トラブルの削減とメンテナンス工数の効率化、ひいては工場全体の生産体制強化を図ります。

■ 導入先企業 製造部門 担当者のコメント
「工場内には、物理的な制約から配管を外すことができず、内部の状態を確認することも困難な箇所が多々あります。Soohaを活用することで、これまで手の届かなかった部分のケアが可能になる点に大きなメリットを感じ、導入を決定しました。」

■ 今後の展望
ソラリスは同社と共に本ロボットの導入効果を定量的に測定しながら、持続的な配管メンテナンス体制の構築を継続的にサポートし、生産体制のさらなる強化に貢献してまいります。

また、本事例で得られた知見を活かし、半導体業界をはじめ、複雑な配管維持管理に課題を抱える幅広い産業分野へのサービス展開を加速させていく方針です。