牛尾電機啟動UX-4系列晶圓曝光設備LED光源版「UX-44101SCB / UX-45114SCB」接單

Key facts

  • 牛尾電機啟動UX-4系列晶圓曝光設備LED光源版「UX-44101SCB / UX-45114SCB」接單
  • 牛尾電機將於2026年7月開始受理搭載LED光源的新款晶圓曝光設備「UX-44101SCB」與「UX-45114SCB」訂單。該產品在實現與水銀燈管同等照度的同時，延長了光源壽命並降低運作成本，有助於提升功率半導體與MEMS元件的生產效率。
  • Source: PR Times
  • Date: 2026年6月4日

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牛尾電機將於2026年7月開始受理搭載LED光源的新款晶圓曝光設備「UX-44101SCB」與「UX-45114SCB」訂單。該產品在實現與水銀燈管同等照度的同時，延長了光源壽命並降低運作成本，有助於提升功率半導體與MEMS元件的生產效率。

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牛尾電機啟動UX-4系列晶圓曝光設備LED光源版「UX-44101SCB / UX-45114SCB」接單 (2026年6月4日), PR Times
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PR Times
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2026年6月4日
牛尾電機將於2026年7月開始受理搭載LED光源的新款晶圓曝光設備「UX-44101SCB」與「UX-45114SCB」訂單。該產品在實現與水銀燈管同等照度的同時，延長了光源壽命並降低運作成本，有助於提升功率半導體與MEMS元件的生產效率。
新製品NQ 83/100出典：PR Times

📋 文章處理履歷

  • 📰 發表: 2026年6月4日 20:02
  • 🔍 收集: 2026年6月4日 11:21
  • 🤖 AI分析完成: 2026年6月5日 07:43（收集後20小時21分鐘）
牛尾電機股份有限公司（Ushio Inc.）宣布，作為其UX-4系列晶圓曝光設備的新產品，搭載LED光源的「UX-44101SCB」與「UX-45114SCB」型號將於2026年7月起開放接單。

「UX-4系列」採用全投影式曝光技術，長年以來在提升功率半導體、MEMS、通訊與光電融合相關（光半導體）元件的生產效率方面，擁有豐富的導入實績。

近年來，半導體產業對於化學物質使用與排放的環境規範日益嚴格，對整體業界產生了影響。隨著曝光設備光源逐漸轉向LED化，在高曝光劑量需求的製程層中，因照度不足導致曝光時間延長，成為了業界亟待解決的課題。

針對此課題，牛尾電機憑藉其自創業以來累積的固態光源設計技術，成功開發出與傳統水銀燈管具有同等照度的LED光源單元，並研發出此項新產品。

藉此，因應IoT、5G與交通移動技術進化所帶來的次世代電子設備晶圓大型化與高精度化需求，即便是Bump（凸塊）與WLP（晶圓級封裝）等需要高曝光劑量的製程，也能實現與傳統水銀燈管同等的高產出（High Throughput）。此外，與傳統水銀燈管相比，LED光源可實現曝光時的瞬間點亮與熄滅，不僅延長了光源壽命，還能大幅降低設備導入後的運作成本。

■ 主要特點
- 全投影式曝光：無光罩損傷，高生產率120 WPH以上
- 深度焦深：適用於3D表面形狀曝光、厚膜光阻曝光
- 自動化對應：對應In-line、On-line、OHT與AGV系統
- 無汞設計，支援LED光源

常見問題

ウシオ電機が発表したUX-4シリーズの新製品とは？

LED光源を搭載したウェハ向け一括投影露光装置「UX-44101SCB」および「UX-45114SCB」です。

新製品の主な特長は何ですか？

LED光源の採用により、従来の水銀ランプと同等の高照度を維持しつつ、瞬時点灯・消灯が可能になり、光源の長寿命化を実現しました。これによりランニングコストを大幅に削減できます。

どのような用途に適していますか？

主にパワー半導体、MEMS、通信・光電融合関連デバイスの生産に適しており、特にBumpやWLP工程での高スループット化に貢献します。

受注開始はいつからですか？

2026年7月より受注を開始します。

環境性能についてはどうですか？

環境規制に対応し、水銀を使用しないLED光源を採用することで環境負荷を低減しています。

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