ウェハ向け一括投影露光装置UX-4シリーズのLED光源搭載装置「UX-44101SCB / UX-45114SCB」を受注開始 ウシオ電機は、LED光源を搭載したウェハ向け一括投影露光装置の新製品「UX-44101SCB」「UX-45114SCB」を2026年7月より受注開始する。水銀ランプ相当の照度を達成しつつ、長寿命化とラ… · 2026-06-04